檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "GaN".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="場發射"
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本論文旨在探討碘蒸氣輔助聚焦離子束蝕刻製備氧化鎵披覆氮化鎵奈米尖錐及其特性分析。實驗首先以射頻式濺鍍系統沉積純銀薄膜,接著經由熱氧化方式形成雙層遮罩結構,最後使用碘蒸氣輔助聚焦離子束蝕刻製備氧化鎵披…